中走丝那个好-小量程MEMS电容式压力传感器的研究与发展-仁光智能

中走丝那个好，介绍了电容式传感器在小量程压力测量领域的优势和目前研制小量程MEMS电容式压力传感器的技术难点。从实现MEMS电容式传感器小量程压力测量的不同方法出发，详细论述了国内外的研究成果、关键技术及应用情况。

中走丝那个好，最后分析总结了小量程MEMS电容式压力传感器的发展方向与挑战。如今，用于测量中等压力(0.1～10 MPa)的MEMS传感器已经相当成熟，并且已经实现批量化生产。工作压力低于0.1 MPa者却不多见，远不能满足小量程压力测量需求。

中走丝那个好，小量程压力测量主要应用于大气压力测量和生物体内部的压力测量。气压测量在气象、航空、实验室等条件中运用频繁。在气象学领域里，压力数据是估算大气中水汽含量不可或缺的参数。

中走丝那个好，又如，根据气压值随海拔高度线性降低的关系可以实时获取航天器飞行时的高度位置信息。这些应用领域的气压值均在一个大气压（0.1 MPa)以下，而且需要传感器便携式和集成化。