精密中走丝-小量程MEMS压力传感器-仁光智能

精密中走丝，在临床医疗过程中，实时、准确地监测人体各种压力指标的变化能对诊断和治疗起到非常积极的作用。这些被测压力都比较小，青光眼的眼压范围在10～100 kPa之间，人类与外部接触所产生的压力大约在0～220 kPa之间。除此之外，传感器还需要植入生物体中，所以体积要微小并能进行非接触式测量。因此，小量程MEMS压力传感器应用前景广泛，对其研究具有重要意义。

精密中走丝，由于作用压力小，灵敏度成为了制约小量程MEMS压力传感器发展和应用的难点。通常，灵敏度的提高会导致线性度的降低，反之亦然。要成功研制出小量程压力传感器，必须首先解决小量程高灵敏度输出与超薄力敏膜片大挠度引起的非线性误差之间的矛盾。

精密中走丝，MEMS压力传感器多种多样，与其他类型的传感器相比，电容式压力传感器不仅结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、温度漂移小，而且能够进行非接触式的无线无源测量。