数控中走丝-电容式传感器-仁光智能

数控中走丝，特别地，电容式传感器还可以承受更高的满量程过载，这点对于小量程测试应用也是十分重要的，因为相对高的压力载荷经常会出现在小量程压力检测过程中。通过上述分析可知，电容式压力传感器很适合用于小量程压力测量。

数控中走丝，回首历史，电容式传感器很早就被用来测量压力、位移等。但由于当时技术水平的限制，使它的应用面临较多的困难，发展相对缓慢。随着科技的日新月异，特别是半导体产业的进步，新材料、新工艺、新电路得以不断被开发，电容式传感器曾经遇到的许多技术问题都能够得到解决，所以从20世纪80年代开始,各国开始对MEMS电容式压力传感器进行研究。

数控中走丝，作为MEMS压力传感器的一个重要发展方向，国内外都探索了如何提高传感器在测量小量程压力时的灵敏度，但研究主要集中在压阻式传感器，对电容式传感器的关注却比较少。数控中走丝，国外研制的小量程MEMS电容式压力传感器初步实现了产品化，国内却仅有中国科学院的王跃林教授所带领的研究团队对此领域开展了系列研究。