新款中走丝-大而薄的极板-仁光智能

新款中走丝，这4个设计参数之间不是彼此孤立的，而是相互联系相互影响。单纯利用改进传感器结构来提高小量程传感器的输出电容是有限的。如果电路灵敏度不高,则小电容信号很有可能湮没在噪声信号中。因此,对测量电路的优化也是实现MEMS电容式传感器小量程测压必不可少的一步。

新款中走丝，大而薄的极板不仅使传感器的初始电容C0增大，而且使可动极板在受到相同压力时产生更大的形变，从而使传感器的电容输出值增大。但又大又薄的极板会导致器件的线性性能恶化，同时与MEMS微型化的设计理念相违背。而且，太薄的极板太脆易碎。

新款中走丝，极板间距的减小也可以显著提高C0。但当极板间距很小时，传感器的动态范围不仅过窄，而且空腔内任何微量气体的存在都会影响传感器性能，因此传感器空腔的真空度必须非常高。