摇摆中走丝-微差压传感器-仁光智能

摇摆中走丝，这种结构不仅可以作为真空绝对压力传感器实现对真空环境的压力监控，还可以作为微差压传感器。硅可动极板与下层玻璃间的电容Cd用于检测压力变化。

摇摆中走丝，当Cd变化时，其变化信号通过电容/电压转换器转化成电压变化信号，然后电压变化信号通过放大器变成伺服电压VS，VS反馈到伺服电极上，对可动极板产生一个和原始变形方向相反的静电力FS，使薄膜回到初始位置，这样就实现了伺服效果，增大了器件的动态工作范围。同时，当压力过大时，可动极板会碰到下层玻璃完成过载保护。

摇摆中走丝，在TRANSDUCERS’11会议上，Evigia Systems公司提出了一种全新结构的MEMS电容式压力传感器来同时获得高灵敏度和大动态范围。研究人员将压敏元件和电容的可动极板进行了去耦操作，即增加一个力敏薄膜来感知外界压力变化，然后将压敏薄膜通过一个中心轴与平行板电容式器的可动极板进行机械耦合从而实现小量程压力测量。