锥度中走丝-灵敏度的提高-仁光智能

锥度中走丝，传感器的灵敏度可以通过增加可动极板的面积和减小极板间距来增加，动态范围可以通过减小力敏薄膜的面积来提高。增加压敏薄膜的另外一个好处是可动极板无需暴露在外界环境中来获取压力变化，电容结构可以完全密闭封装并且与力敏薄膜电隔离。

锥度中走丝，工艺方面，也是采用淀积多晶硅来形成力敏薄膜(厚度在1.0～1.5 μm之间）和平行板电容式器极板（厚度在2～3.5 μm之间），淀积氧化层作为牺牲层形成空腔。传感器的灵敏度很高，在小于1 000 Pa的范围内灵敏度仍有10 aF/Pa。

锥度中走丝，电容测量电路优化，随着测试技术的发展，国内外的科研工作者在微小电容测量电路的设计方面已经取得了很大进步，提出了许多新的测量方法及电路结构，应用于不同的微小电容读取场合。但大部分测量方法的电路精度和集成化程度比较低，还不能很好地达到在实际应用方面的要求。