小型中走丝-压力传感器的发展方向-仁光智能

小型中走丝，北达科他州立大学的KAABI L等人建立了抛物线型空腔的电容式绝对压力传感器的理论模型。为了实现40 Pa以下的绝对压力的测量，他们设计了一种相应的调节器，可以实现压力的直接读取，分辨率达到1 Pa。

小型中走丝，调节器的工作原理也是首先将电容值通过振荡器转换为相应的频率值，然后利用一个BCD计数器和译码器将频率值直接转变为压力值。调节器的实现简单易行，试验结果与理论结果吻合得很好。

小型中走丝，压力传感器的发展方向，从改进传感器方面来说，现有研究都集中在优化传感器结构与改良工艺方面，发掘新材料的报道却鲜有。所以发掘杨氏模量低和介电常数大的新材料应用于小量程MEMS电容式压力传感器是很有希望的一个研究方向。

小型中走丝，可动极板采用杨氏模量低的材料可以提高其形变量，介电层采用介电常数大的材料可以增大传感器的输出电容式值。有很多高分子聚合物(Polymers)材料满足这样的设计要求,比如聚对二甲苯（parylene）、聚二甲基硅氧烷(PDMS)、SU-8、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚已酸内酯(polycaprolactone)、聚苯乙烯(pplystyrene)等。在这些材料中，PDMS不仅可以软刻蚀，而且具有铸造高保真的优点，因而最适合用来制作压力传感器。其杨氏模量可调，约750 kPa。